唐山国芯晶源电子取得用于平凸石英晶片球面研磨的滚筒专利，实现批量化石英平凸晶片球面的研磨加工，保证晶片研磨质量、提高生产效率、降低加工成本

金融界2024年8月20日消息，天眼查知识产权信息显示，唐山国芯晶源电子有限公司取得一项名为“一种用于平凸石英晶片球面研磨的滚筒“，授权公告号CN221539367U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，一种用于平凸石英晶片球面研磨的滚筒，设有筒体组件、筛网组件、固定轴和轴承；所述筒体组件包括筒体和安装座，所述筒体为圆柱型筒体，筒体的横截面直径尺寸与平凸石英晶片的球面曲率半径相匹配，在筒体一端设置与旋转驱动机构连接的安装座，所述安装座为与筒体轴向贯通的套管结构；所述轴承为向心球轴承，套装在安装座内，轴承的外圈与安装座内侧壁以过盈配合方式装配，在轴承的内圈中压装固定轴；所述筛网组件固定安装在固定轴上，与筒体组件的轴向截面夹角α=30～45º，筛网组件周边与筒体内侧壁距离L=15～20mm。本实用新型实现了批量化石英平凸晶片球面的研磨加工，达到了保证晶片研磨质量、提高生产效率、降低加工成本的目的。

本文源自金融界

东方晶源深耕电子束量测检测技术 “三箭齐发”新一代EOS上“机”

引言

电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一，深度参与光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到至关重要的作用。其最为核心的模块为电子光学系统（Electron Optical System，简称EOS），决定设备的成像精度和质量，进而决定设备的性能。

作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者，东方晶源始终坚持自主研发，不断深化研发投入、加速技术创新步伐，致力于为客户带来更加卓越的产品。日前，东方晶源自主研发的新一代EOS“三箭齐发”，取得突破性成果，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI），率先实现国产EOS在高端量测检测领域的应用，助力产品性能实现进一步攀升的同时，为国产电子束量测检测技术的发展进一步夯实了基础。

新一代DR-SEM EOS

多场景 高精度

DR-SEM是一款基于超高分辨率电子束成像技术对缺陷进行复检分析的设备，包括形貌分析、成分分析等，因此其搭载的EOS需要高分辨、高速的自动化复检能力，并提供多样化的信号表征手段。

东方晶源新一代DR-SEM EOS采用适配自研多通道高速探测器、支持多信号类型分析检测的电子光学设计方案，兼容EDX成分分析功能，能够覆盖广泛的缺陷复检应用场景。此外，新一代DR-SEM EOS搭配高精度定位技术，检测精度和速度可以匹配业界主流水准。

新一代CD-SEM EOS

高精度 高速度

CD-SEM作为产线量测的基准设备，对EOS的核心技术需求在于高分辨、高产能（Throughput）和高稳定性。东方晶源新一代CD-SEM EOS为实现高成像分辨率和高量测精度，采用球色差优化的物镜、像差补偿技术、自动校正技术等新方案，目前已达到业界一流水平。同时，自研探测器针对频响和信噪比优化，支持快速图像采集，结合高速AFC技术，可以在不损失精度的情况下大幅提升量测产能。新的技术方案确保了更稳定、一致的产品表现。通过上述各方面的技术突破，新一代CD-SEM EOS在性能和稳定性上取得大幅提升。

新一代EBI EOS

多场景 高速度

针对国内领先的逻辑与存储客户产线检测需求，EBI EOS要在保证检测精度的前提下，重点提升检测速度。东方晶源最新研发的EBI EOS通过四大技术手段在检测精度和速度上进行了显著的优化与提升。（1）超大束流的电子束预扫描技术和大范围电子产率调节技术，满足不同产品多样化检测需求；（2）兼容步进式和连续式扫描模式，提供具有竞争力的产能指标；（3）采用业界领先的高速大束流检测方案，采样速率达到行业先进水平；（4）浸没式电子枪，支持更大的束流调节范围。

展望

随着半导体工艺水平的飞速发展，电子束在线量测检测越来越重要，设备的产能必须有质的飞跃才能满足这一需求。更高的成像速率或多电子束并行检测技术就是业界竞相攻克的焦点。东方晶源在高速成像和多电子束技术均已取得重要突破，实现了相关技术的原理验证。未来，东方晶源将不断进行技术深耕，将关键核心技术牢牢掌握在自己手中，以更加卓越的技术和产品引领电子束量测检测领域的发展，解决客户痛点问题，为我国集成电路产业的发展和进步贡献更多力量。

相关问答

俞宗强。东方晶源微电子科技(北京)有限公司成立于2014年,总部位于北京经济技术开发区,是一家专注于集成电路领域良率管理的企业。截止目前,成功自主研发了...

[回答]蓝筹股是指具有稳定的盈余记录,能定期分派较优厚的股息,被公认为业绩优良的公司的普通股票,又称为"绩优股"。"蓝筹码"一术语源自赌具中所使用的蓝筹...

代码名称000016深康佳A000063中兴通讯000100TCL集团000516开元控股000533万家乐000602*ST金马000615湖北金环000733振华科技000...

只要是美元结算的企业都受益!重点可关注生益科技,振华科技,法拉电子,中国远洋,宝信软件等具体到个股,按照已经披露的09年年报,上市公司的主营业务...其中,...

(24).仓储物流运输:中化国际、铁龙物流、外运发展、中储股份(25).水泥:海螺水泥、华新水泥、冀东水泥(26).电子类:晶源电子、生益科技、法拉...(25)...

(1).指标股:中国石油、工商银行、建设银行、中国石化、中国银行、中国人寿、中国神华、招商银行、中国平安、中国铝业、中国远洋、宝钢股份、中国...

股票板块主要是按行业、概念、地区分类。其中行业是根据上市公司所从事的领域划分的比如煤炭、纺织、医药等;地区主要是根据省份划分的;概念是根据权重、热点...

(24).仓储物流运输:中化国际、铁龙物流、外运发展、中储股份(25).水泥:海螺水泥、华新水泥、冀东水泥(26).电子类:晶源电子、生益科技、法拉电子、华微电...

[回答]今年,71个先进基层党组织,中央组织部的国家名单,以表彰他们的党的建设必须完成的工作。功能障碍(数字)在北京市西城区,北京西长安街街道党工委,北京...

[回答]股权质押后,在解押前是不得转让,但经出质人与质权人协商同意转让的可以转让。根据我国《物权法》第二百二十六条以基金份额、股权出质的,当事人应...